Máy làm sạch chân không đĩa bán dẫn

Đặc điểm sản phẩm:

Sản phẩm này có mức chân không siêu cao 1Pa giúp loại bỏ sự can thiệp của bong bóng khí trong quá trình làm sạch, và khoang quartz được đánh bóng để tránh ô nhiễm thứ cấp. Nó đáp ứng tiêu chuẩn độ sạch lớp ISO 5, và quy trình làm sạch theo tiêu chuẩn RCA phù hợp với các thông số sản xuất bán dẫn toàn cầu. Hệ thống bơm hóa chất tự động đạt được kiểm soát hóa chất chính xác, giảm thiểu lỗi do con người gây ra. Mảng siêu âm công suất cao 2000W bao phủ đều bề mặt đĩa bán dẫn, tránh tình trạng làm sạch không đầy đủ tại các vị trí cụ thể. Nó được trang bị thiết kế chống nổ và hệ thống bảo vệ tĩnh điện phù hợp cho xưởng không bụi, giải quyết các điểm đau về việc làm sạch khó khăn và kiểm soát ô nhiễm của đĩa bán dẫn, và nâng cao tỷ lệ thành phẩm sản xuất thiết bị bán dẫn.

Thông số kỹ thuật sản phẩm:

Kích thước bên trong buồng làm sạch là 800*600*104mm với tổng thể tích 50 lít, được trang bị bộ chuyển đổi sóng siêu âm tần số cao 1MHz để làm sạch đĩa bán dẫn độ chính xác. Nó hỗ trợ mức chân không xuống tới 1Pa, điện áp làm việc 220V 3 pha 50Hz và tổng công suất tiêu thụ 2500W. Trọng lượng rỗng là 800kg, trọng lượng toàn bộ là 900kg, được đóng gói trong hộp gỗ kích thước 1600*1300*1900mm. Phụ kiện tiêu chuẩn bao gồm giá đỡ đĩa bán dẫn chuyên dụng, bể lưu trữ hóa chất, hệ thống điều khiển tự động và hệ thống giám sát từ xa. Sản phẩm đã vượt qua tiêu chuẩn SEMIC S8 và chứng nhận CE, đáp ứng các yêu cầu khắt khe của ngành bán dẫn.

Ứng dụng sản phẩm:

Máy làm sạch chân không bán dẫn này phù hợp cho quy trình làm sạch trong quá trình chế tạo đĩa bán dẫn, làm sạch khung dây trong nhà máy bao bì chip, làm sạch chip LED, làm sạch độ chính xác của tấm pin quang điện và làm sạch các linh kiện điện tử độ chính xác cao khác.