Cảm biến dịch chuyển điện dung (Loại vi phân giải)

Tính năng sản phẩm:

Ưu điểm cốt lõi của cảm biến này là Độ phân giải mức Nano 0.1nm và độ chính xác ± 0.002mm, cho phép phát hiện những thay đổi chuyển vị cực nhỏ trong các ứng dụng quang học bán dẫn và chính xác. Nguyên lý đo không tiếp xúc của nó giúp loại bỏ hư hỏng phôi và nhiễu đo, điều này rất quan trọng đối với các thành phần có giá trị cao như tấm Wafer và ống kính quang học. Tấm chắn chống nhiễu điện từ (EMI) tích hợp giúp giảm nhiễu tín hiệu trong môi trường công nghiệp, đảm bảo đầu ra dữ liệu ổn định. Với tần số đáp ứng 1MHz, nó thu được các thay đổi dịch chuyển vi mô nhanh trong thời gian thực, phù hợp với các tình huống thử nghiệm động. Vỏ bằng thép không gỉ 304 và lớp bảo vệ IP64 chống bụi và nước bắn tung tóe, và nguồn điện hạ thế 5V DC đảm bảo hoạt động an toàn trong phòng sạch. Sản phẩm hỗ trợ cả đầu ra kỹ thuật số Analog và RS232 0-5V, cung cấp các tùy chọn truyền dữ liệu linh hoạt cho các hệ thống thử nghiệm khác nhau.

Thông số kỹ thuật sản phẩm:

Cảm biến dịch chuyển điện dung Độ phân giải siêu nhỏ này Cung cấp phạm vi đo từ 0-10mm, với phạm vi tùy chọn từ 0-1mm và 0-5mm để kiểm tra độ dịch chuyển siêu nhỏ. Sản phẩm đạt được độ chính xác ± 0.002mm và độ phân giải 0.1nm, đáp ứng các yêu cầu nghiêm ngặt về phép đo mức nanomet. Tần số đáp ứng đạt 1MHz, cho phép chụp các thay đổi dịch chuyển vi mô nhanh trong thời gian thực. Chạy bằng điện 5V DC, nó hoạt động trong phạm vi nhiệt độ từ 0 ° C đến 50 ° C, phù hợp với môi trường phòng sạch. Cảm biến sử dụng công nghệ cảm biến điện dung tấm song song, với tín hiệu đầu ra bao gồm Analog 0-5V và kỹ thuật số RS232 để thu thập dữ liệu có độ chính xác cao. Vỏ của nó được làm bằng thép không gỉ 304, với lớp bảo vệ IP64 để chống bụi và văng nhẹ. Kích thước tổng thể là 50 × 30 × 20mm và nặng 0.3kg, giúp dễ dàng tích hợp vào các thiết bị chính xác nhỏ gọn.

Ứng dụng sản phẩm:

Cảm biến chuyển vị điện dung này được sử dụng rộng rãi trong các lĩnh vực nghiên cứu khoa học và công nghệ cao. Trong sản xuất chất bán dẫn, nó định vị các tấm Wafer trong quá trình in thạch bản và phát hiện độ phẳng của bề mặt chip để đảm bảo độ chính xác của sản xuất. Trong quang học chính xác, nó điều chỉnh độ dài tiêu cự của ống kính cao cấp và đo biến dạng của các thành phần quang học. Trong nghiên cứu khoa học trong phòng thí nghiệm, nó hỗ trợ kiểm tra tính chất cơ học vật liệu vi mô, đặc tính hiệu suất thiết bị MEMS và định vị phụ trợ kính hiển vi lực nguyên tử. Nó cũng được áp dụng trong các thiết bị y tế chính xác, chẳng hạn như định vị vi mô cánh tay robot phẫu thuật và hiệu chuẩn thành phần thiết bị hình ảnh y tế. Tất cả các tình huống này đều yêu cầu đo độ dịch chuyển vi mô có độ chính xác cực cao và cảm biến này cung cấp dữ liệu ổn định, không bị nhiễu để hỗ trợ đổi mới công nghệ và cải thiện chất lượng sản phẩm.