Máy đo hồ sơ độ chính xác cao thang nano

Đặc điểm sản phẩm:

Điểm ưu tiên cốt lõi nằm ở hệ thống cách ly rung động tích cực giúp bù đắp tác động rung động môi trường tại phòng thí nghiệm, kết hợp với kim tiêm kim cương bán kính 0,5μm và độ phân giải dọc 0,001μm để đạt được đo lường hồ sơ độ chính xác thang nano. Nó sử dụng cơ sở đá granit và khung khớp nhôm để đảm bảo ổn định cấu trúc, và được trang bị phần mềm đo lường 3D chuyên nghiệp để hỗ trợ tái tạo địa hình 3D và phân dung sai hình học chi tiết. Nó hỗ trợ truyền dữ liệu tốc độ cao IEEE1394 và USB3.1, giải quyết các điểm đau trong ngành về đo lường chính xác các công thợ thang nano, và hoàn toàn đáp ứng tiêu chuẩn kiểm tra quang học quốc tế ISO 10110 để đáp ứng nhu cầu nghiên cứu khoa học cao cấp và kiểm tra cấp quân sự.

Thông số kỹ thuật sản phẩm:

Thông số chi tiết: trọng lượng ròng 25kg, kích thước tổng thể 600mm×500mm×350mm; cơ sở đá granit đảm bảo ổn định cấu trúc, hệ thống cách ly rung động tích cực loại bỏ nhiễu rung động môi trường trong phạm vi ±5μm; hành trình đo trục X/Y 50mm×50mm, hành trình trục Z 20mm; độ chính xác đo lường đạt ±0,005μm, độ phân giải dọc 0,001μm; sử dụng kim tiêm thử nghiệm kim cương tự nhiên R=0,5μm, hỗ trợ phát hiện độ nhám, hồ sơ và chiều cao bước thang nano; được trang bị giao diện truyền dữ liệu tốc độ cao IEEE1394 và USB3.1, tốc độ truyền đạt tới 10Gbps; được trang bị phần mềm đo lường 3D chuyên nghiệp, hỗ trợ trực quan hóa địa hình 3D, phân tích dung sai hình học GD&T và tạo báo cáo so sánh dữ liệu; môi trường làm việc yêu cầu nhiệt độ 20±0,5℃, độ ẩm tương đối 30%-60% RH, cần sử dụng với nguồn điện ổn định.

Ứng dụng sản phẩm:

Phù hợp với kiểm tra hồ sơ 3D thiết bị MEMS, xác minh độ chính xác mặt nạ khắc bán dẫn, đo độ dày lớp phủ nano, kiểm tra độ nhám thang nano ống kính quang học, kiểm tra dung sai hình học chi tiết độ chính xác cấp quân sự, thí nghiệm nghiên cứu công nghệ nano tại đại học và các tình huống khác. Là thiết bị kiểm tra độ chính xác cấp phòng thí nghiệm, nó cung cấp dữ liệu đo lường thang nano chính xác cho các lĩnh vực chế tạo cao cấp và nghiên cứu, giúp doanh nghiệp kiểm soát chất lượng sản xuất các sản phẩm độ chính xác hàng đầu và thúc đẩy nghiên cứu phát triển và tối ưu hóa quy trình chế tạo thang nano.