Hệ thống đo lường hình dạng tấm wafer tự động ở cấp độ tấm wafer

Tính năng sản phẩm:

Điểm ưu tiên cốt lõi của sản phẩm này là khả năng kiểm tra tự động hoàn toàn và độ chính xác đo lường cực cao, có thể đáp ứng yêu cầu kiểm tra chất lượng khắt khe của ngành bán dẫn. Máy chủ bằng đá granit và thép không gỉ có độ ổn định tốt, không dễ bị biến dạng, đảm bảo độ chính xác đo lường lâu dài. Hệ thống hỗ trợ kiểm tra tấm wafer 200mm và 300mm, phần mềm phân tích đo lường ở cấp độ tấm wafer tích hợp sẵn có thể tự động đếm số lượng tấm wafer lỗi và tạo báo cáo chất lượng chuyên nghiệp. Giao diện Ethernet công nghiệp có thể kết nối với hệ thống điều khiển dây chuyền sản xuất bán dẫn để thực hiện điều khiển vòng kín của quá trình sản xuất.

Thông số kỹ thuật sản phẩm:

Kích thước máy chủ chính là 2500mm × 2000mm × 1800mm, trọng lượng ròng 1200kg, phù hợp để lắp đặt cố định tại xưởng sạch bán dẫn. Hệ thống hỗ trợ kiểm tra tấm wafer 200mm và 300mm, độ chính xác đo lường đạt ±0,05μm, đáp ứng yêu cầu kiểm tra chất lượng khắt khe của ngành bán dẫn. Tốc độ quét lên đến 20mm/s, chế độ hoạt động tự động hoàn toàn có thể thực hiện kiểm tra không cần người giám sát. Hệ thống được cấp điện bằng AC 380V 50/60Hz, và tương thích với các hệ thống điều khiển thiết bị sản xuất bán dẫn chính thông qua giao diện Ethernet công nghiệp. Phần mềm phân tích tích hợp sẵn có thể tạo báo cáo kiểm tra chất lượng tấm wafer chuyên nghiệp và thực hiện so sánh dữ liệu với bản vẽ thiết kế.

Ứng dụng sản phẩm:

Sản phẩm này chủ yếu được sử dụng tại xưởng sản xuất tấm wafer, xưởng sản xuất linh kiện vi điện tử, xưởng đóng gói và kiểm tra bán dẫn và các kịch bản khác. Hệ thống có thể thực hiện kiểm tra tự động hoàn toàn về các tham số như đường viền, độ phẳng, độ cao bước của tấm bán dẫn, thay thế công việc kiểm tra thủ công, tăng hiệu quả và độ chính xác của việc kiểm tra, và đảm bảo rằng sản phẩm bán dẫn được giao đáp ứng yêu cầu thiết kế. Sản phẩm cũng có thể được sử dụng để kiểm tra chất lượng các linh kiện vi điện tử như chip và bảng mạch.